近日，我國戰略新興產業再傳捷報，泛半導體產業智能裝備生產企業合肥欣奕華智能機器有限公司（以下簡稱“合肥欣奕華”）開發的首臺硅基OLED蒸鍍機成功導入臺州觀宇科技有限公司（以下簡稱“觀宇科技”） 量產線并完成全彩點亮，這標志著我國泛半導體產業核心工藝裝備實現自主化邁入新的里程碑。

　　據悉，觀宇微顯示器采用無彩膜、自發光native RGB AMOLED技術，可實現高像素密度、高亮度、高對比度、高色彩飽和度與低功耗。作為國內OLED裝備研發制造廠商，合肥欣奕華成功為其完成了核心工藝設備——硅基OLED蒸鍍機的開發攻關。這是國內首臺全自主研發面世的硅基OLED蒸鍍機，是合肥欣奕華基于長期技術積累，攻克“卡脖子”技術難題，繼成功研發G1（可蒸鍍基板尺寸200*200mm）、G2.5（可蒸鍍基板尺寸370*470mm）OLED蒸鍍機及G6 H（可蒸鍍基板尺寸925*1500mm）蒸鍍機關鍵裝置之后的又一重大突破，也是我國泛半導體領域核心工藝裝備自主化道路上的又一里程碑。

　　蒸鍍機是OLED顯示器件制備環節的核心設備，蒸鍍機把有機發光材料精準、均勻、可控地蒸鍍到基板上，是推動相關技術實現產業化的最關鍵因素，也是保障高精細度顯示產品順利量產的核心要素。合肥欣奕華通過借鑒OLED蒸鍍機研發設計經驗，依托OLED蒸鍍機蒸發源設計和對位技術的二次創新，攻克了硅基OLED蒸鍍機膜厚均一性、穩定性和微米級高精密定位技術難題。同時，對于某些特殊蒸鍍材料，通過蒸鍍趨勢模擬，開發特定的蒸發源并制定蒸鍍工藝實現其長期穩定蒸鍍。

　　合肥欣奕華現擁有3萬平米的蒸鍍機研制潔凈車間，各類先進研發設備和儀器20余臺套，組建了一支國際化高端人才團隊，形成了完善的蒸鍍機技術研發體系。合肥欣奕華OLED事業部總經理曹景博介紹：“合肥欣奕華已形成了完善的蒸鍍機相關技術研發體系，在蒸發源、真空腔體、高精密對位、封裝、工藝控制等方面相關技術水平已達到國際先進。”據了解，合肥欣奕華研發的OLED蒸鍍機已實現多臺銷售業績，是國內研發、生產、銷售走在前列的蒸鍍機制造廠商。其更以創新為驅動力，緊跟市場形勢，加快推進硅基蒸鍍機等新設備的研發步伐。恰如觀宇科技總經理陸隆鳴所說：“持續勇于創新，保持開放合作，是公司邁向永續的基礎。”合肥欣奕華CEO張海濤表示：“公司完成了國內首臺全自主開發的量產硅基蒸鍍機交付，一方面得益于我們對蒸鍍機及其關鍵裝置開發的長期技術積累，另一面得益于客戶對我們的認可和支持，是我們與客戶共同創新的成果。我們非常看好元宇宙帶動下硅基OLED顯示技術的未來發展，愿意持續為產業的快速發展做出我們的貢獻。”

　　硅基OLED顯示器件以單晶硅芯片為基底，利用IC技術，像素密度可達到2000PPI以上，精細度遠遠高于傳統顯示器件，可與AR/VR等設備實現完美契合。隨著市場應用的持續擴大，對硅基OLED微顯示產品的關注程度日漸提升。中國電子信息產業發展研究院預計2023年硅基OLED市場規模有望達900億美元。近來，元宇宙熱度高居不下，AR/VR作為構建元宇宙的關鍵設備備受追捧，國內外大型互聯網科技企業紛紛布局。根據國際數據公司IDC的數據，2021年第一季度中國VR產業市場規模超400億元，同比增長52.4%，同時有行業數據顯示，中國VR產業的市場規模，2023年預計將達到1051.6億元。在利好的市場前景面前，國內相關企業近幾年紛紛加大硅基OLED相關產業投資，未來將帶來較大的硅基蒸鍍機需求市場空間。

　　來源：CINNO