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      凸版印刷利用低溫工藝的涂布型薄膜晶體管降低電子紙制造成本

      編輯:hattie 2009-12-17 09:12:13 瀏覽:1480  來源:

        凸版印刷采用透明非結晶氧化物半導體,試制出了將制造工藝控制在低溫狀態的涂布型薄膜晶體管“Thin Film Transistor(TFT)”,并成功地驅動了電泳方式的可彎曲顯示器(E-ink電子紙)。

        該顯示器通過印刷法涂布氧化物半導體層,其他層采用與普通TFT相同的制造工藝形成。凸版印刷與德國材料廠商贏創工業(Evonik Industries AG)共同改進了透明非結晶氧化物半導體材料,并將TFT制造工藝中的最高溫度降至比原來低100℃之多的較低溫度(270℃)。由此,可以將TFT的基材由玻璃改為具有柔軟性的樹脂(耐熱薄膜)來實現柔性顯示器。另外,通過在制造工藝中使用涂布方式,與原來的真空成膜法相比在簡化生產設備、提高生產效率等降低制造成本方面已有眉目。

        顯示器相關專業調查公司韓國Displaybank表示,由于以美國為首的電子書閱讀器的普及,預計電子紙市場將在2017年達到接近6000億日元的規模。電子紙要求具有輕量性和柔軟性,此次新開發的產品可在塑料基材上制造TFT,容易滿足這些要求。氧化物半導體的使用自2004年11月東京工業大學教授細野秀雄領導的研究小組開發出α- InGaZnO TFT以來備受關注,由于擁有高遷移率、穩定性、低工藝溫度、可大面積均勻成膜以及可形成透明涂布等原來硅類半導體和有機半導體所沒有的特性,許多企業都在積極進行研發和試制工作。

        試制的顯示器的參數如下,尺寸為對角2英寸(像素數為80×60),TFT基材為玻璃。半導體材料為透明非結晶氧化物半導體。特性方面,TFT遷移率超過0.5cm2/Vs,ON/OFF比超過105(與普通的非晶硅TFT相同)。 (日經BP社)

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