創新是企業發展的必由之路。在國內半導體專用設備領域享有很高聲譽的中國電子科技集團公司第四十五研究所憑借自身多年的技術積累，不斷創新，他們研發的SSJ-100超聲掃描顯微鏡榮獲“第四屆（2009年度）中國半導體創新產品和技術”獎。

　　超聲掃描顯微鏡擁有自主知識產權

　　四十五所是國內從事半導體專用設備技術、整機系統和應用工藝研發與生產制造的專業化科研生產單位，擁有專業的研發團隊及加工技術，在微電子學、精密光學、計算機應用、自動控制、精密機械及系統工程等諸多技術應用方面居國內領先地位。該所副所長裴二章介紹說，四十五所是國內唯一可提供投影光刻機整機產品、開展整線服務的企業，其研制的產品涉及4大領域10大門類100多個品種，現已形成以光刻機為龍頭，晶圓加工設備、芯片封裝設備及電子元件設備等門類齊全、系列配套的產品體系。

　　在多年積淀的技術基礎上，四十五所厚積薄發，近幾年在太陽能、LED、器件關鍵封裝等半導體專用設備領域都有新品推出，SSJ-100超聲掃描顯微鏡就是其中之一。

　　四十五所研發的超聲掃描顯微鏡是一種離線的檢測分析設備，在失效分析、工藝過程開發、關鍵生產工序的監控及小批量產品檢測方面有很大的優勢，填補了國內空白，并且在各類超聲圖像的構建與分析、超聲發射接收裝置、聚焦承片裝置等多方面擁有相關專利及自主知識產權的核心技術。該產品可用于各類半導體器件封裝如QFN、BGA、FlipChip、CSP、MCM等內部損傷及不連續性等各種缺陷的無損檢測及可視化分析，并可用于MEMS的內部無損檢測、制造工藝分析以及陶瓷、玻璃、金屬、塑料等各種材料的特征、特性分析。相對于X射線的無損檢測，超聲掃描顯微鏡可以完整反映器件內部粘接層、填充層、結合層等各方面的內部缺陷，作為無損檢測的新一代技術，它擁有不可替代的優勢。

　　裴二章表示，經過四十五所傾力技術研發及市場推廣，SSJ-100已擁有豐富的實際檢測經驗及廣泛的用戶基礎，并以良好的技術支持切實為用戶解決問題，在與國外同類產品的競標中獲得了用戶的認可，受到了眾多用戶的好評。該產品不但在技術上成為用戶產品生產的可靠保障，而且真正降低了國內用戶的生產成本。

　　“為了使新產品的連續性更好，我們后續將開發匹配批量生產的在線式高速超聲掃描顯微鏡，在保證分辨率和檢測精度的情況下，適應生產線的速度，以實現對產品的完全檢測。”裴二章說。

　　多管齊下產品涉及眾多領域

　　SSJ-100超聲掃描顯微鏡是四十五所近幾年來新產品自主研發和技術創新的縮影，在半導體材料加工、集成電路、分立器件、太陽能光伏、LED及特種器件制造等領域，四十五擁有自主研發、生產及產品設備配套能力。

　　裴二章說，面對下游產業的萎縮，四十五所敢于應對危機，勇于創新，以提高設備技術水平，掌握市場主動權。圍繞大尺寸圓片級晶圓封裝、高亮度發光二極管、太陽能光伏、集成電路制造和半導體封裝等產業，四十五所進行了新產品開發、產品技術升級和換代。目前，該所已有多項新產品推向市場，如應用于12英寸晶圓封裝的清洗、電鍍、刻蝕、顯影、剝離、減薄、劃片、測試設備等；應用于太陽能光伏領域的大尺寸多線切割機、單晶及多晶全自動制絨機、多晶大生產用156mm高效半自動印刷機、全自動印刷機、600片大容量清洗甩干機等；應用于半導體前后道工序生產設備的單片腐蝕清洗機、晶圓凸點電鍍系統；應用于LED生產的單面拋光機、全自動分選撿片機、多圓片平面式固晶機、半自動共晶焊線機以及應用于PCB生產的AOI設備等。

　　在厚膜混合集成電路制造領域，四十五所能夠提供從圖形印刷到烘干燒結等關鍵生產設備的生產制造線。另外，該所的高速全自動鍵合機預計今年下半年推向市場；大功率激光劃片機、飛針測試系統和超聲波檢測儀等已投入使用。

　　在LTCC的生產制程中，四十五所的切片機、JHQ-800激光劃切機、WY-267精密電子網版印刷機、自動光學檢測系統、飛針測試系統、MCM-100聲學掃描檢測系統等設備，已實現全線設備國產化，替代了進口。